特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體分類(lèi):高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,對(duì)于不同類(lèi)別的氣體,純度指標(biāo)不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;特種氣體的重要性:正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類(lèi)別中的電子氣體,特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時(shí),儲(chǔ)存場(chǎng)所需要經(jīng)過(guò)縣級(jí)以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲(chǔ)存場(chǎng)所出入口及顯眼處,需設(shè)有安全警示牌。特種氣體種類(lèi):廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。
特種氣體的重要性:在半導(dǎo)體工藝中,從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離 不開(kāi)電子特氣,因此電子氣體被稱(chēng)為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體分類(lèi):從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體,隨著工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。
您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢(xún)...
![]() 觸屏版二維碼 |